首页
产品特点
- 独特工艺气体进气设计，炉口扩散均匀进气+炉管内扩散均匀进气，确保良好的均匀性；
- 石英管可从炉尾侧拆装，大幅减小更换石英管对产能的影响；
- 悬臂桨双炉门方式，工艺时桨不需退出，缩短了工艺时间；
- 快速降温炉体：采用最新专利技术，使炉体温度可以快速降到所需温度，降温速率提升20%以上，明显提升炉管内温度均匀性。
基本参数
| 项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 成膜种类 | SiOx,i/d-Poly-Si |
| 装片尺寸 | 垂直装片方式:2880片/批(182mm)，2320片/批(210mm) |
| 膜厚均匀性 | SiOx均匀性：厚度1-3nm可调，精度0.1nm，用抛光片测试SiOx厚度 Poly均匀性：厚度50-200nm可调，精度1nm，用抛光片测试Poly厚度，片内:≤4%;片间≤4%;批间≤3%(>100nm时) |
| UP -TIME | ≥95% |
| 工作温度范围 | 400-750℃ |
| 温度控制 | 6点控温，内外双模控制 |
| 升温方式 | 自动斜率升温及快速恒温功能 |
| 降温方式 | 最新专利技术，6温区分段控制主动降温炉体 |
| 恒温区精度及长度 | ±1℃(550-700℃) |
| 单点温度稳定度 | ±1℃/6H |
| 升温时间 | RT → 750℃ ≤ 45min |
| 降温速率 | ≥ 5℃/min |
| 温度控制 | 双模精确控制 |
| 系统极限真空度 | <3Pa |
| 系统漏气率 | 停泵关阀后压力升率<2Pa/min |
| 压力控制方式 | 快速调整全自动闭环 |
| 工艺控制方式 | 工艺过程全自动控制， 多重安全连锁报警 |
| 人机交互界面 | LCD显示、触摸操作、工艺编辑、在线监控、权限管理、班组管理、组网功能 |
| MES/CCRM | 具有 |
