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产品特点
- 成熟的高产能工艺，上下料系统：采用平衡对称设计，增强稳定性;
- 快速降温炉体：最新专利技术使炉体温度快速降到所需温度，降温速率提升25%以上，明显提升炉管内温度均匀性;
- 尾气高效水冷冷凝器收集，确保管道、阀门、过滤器、隔膜泵工作稳定可靠和超长的维护周期；
- 稳定的抗干扰源管路设计，减少因环境因素的扰动而造成的方阻波动；
- 架构完整，性能突出的MES/CCRM系统。
基本参数
| 项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 工艺方式 | 软着陆闭管低压扩散 |
| 反应管有效内径 | Ø430mm |
| 硅片尺寸（mm） | 182-230mm |
| 装片量 | 1680-2880片/批@182mm（槽间距2.72mm），2200片/批@210mm（槽间距3.15mm） |
| 方阻及均匀性 | 片内≤5% 片间≤4% 批间≤3%(166/182mm160Ω)，片内≤6% 片间≤5% 批间≤4%(210/230mm160Ω） |
| 加热温度 | Rt→1250°C |
| 工作温度范围 | 400~1100℃ |
| 温度控制 | 6点控温，内外双模控制 |
| 升温方式 | 自动斜率升温及快速恒温功能 |
| 降温方式 | 最新专利技术，6温区分段控制主动降温炉体 |
| 恒温区精度及长度 | ≤±0.5℃/2500mm(800~1100℃)/≤±1℃/2500mm(600~800℃) |
| 单点温度稳定度 | ≤±0.5℃/4h(880℃) |
| 送舟方式 | 采用SiC悬臂桨自动水平送片，舟速20 ~ 1500mm/min连续可调;定位精度≤+1mm ; |
| 系统极限真空度 | 20mbar |
| 系统漏气率 | 停泵关阀后压力升率<2 mbar/min |
| 压力控制方式 | 闭环全自动 |
| 工艺控制方式 | 全自动，PLC+工控机，触摸屏操作 |
| 人机交互界面 | LCD显示、触摸操作、工艺编辑、在线监控、权限管理、 班组管理、组网功能 |
| MES | 可选 |
