产品类别
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太阳能网版薄膜切割机
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主要应用于太阳能丝网印刷用PI膜网版、钢膜网版的激光图案加工。查看详情 -
石英舟装卸片机
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用于太阳能电池硅片管式扩散/退火设备自动装卸片,可将来料硅片自动装入石英舟;送入管式扩散/退火设备进行工艺处理,并将工艺处理后的石英舟内的硅片自动装入花篮,支持对接AGV车转移至下一个制程。查看详情 -
链式去PSG、BSG清洗设备
查看详情链式去PSG、BSG清洗设备
闭环运动控制系统,保证输送机构运动平稳性;上表面采用水膜保护及辊轮带液方式,完整的保护正面的同时,对扩散后硅片下表面和边缘去除PSG/BSG;可配套无金属化制程设备,提高设备洁净度。查看详情 -
全自动槽式单晶制绒清洗设备
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高产能,低能耗;600片/批,13500片/小时---210mm硅片(100片花篮);720片/批,16000片/小时---182mm硅片(120片花篮)。查看详情 -
石墨舟装卸片机
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用于太阳能电池硅片管式PECVD设备自动装卸片,可将来料硅片自动装入石墨舟,送入管式PECVD 设备进行工艺处理,并将工艺处理后的硅片自动装入花篮,自动检测分选NG料,OK料可对接AGV车转移 至下一个制程。查看详情