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产品特点
- 闭环运动控制系统，保证输送机构运动平稳性；
- 上表面采用水膜保护及辊轮带液方式，完整的保护正面的同时，对扩散后硅片下表面和边缘去除PSG/BSG；
- 可配套无金属化制程设备，提高设备洁净度；
- 进口PLC控制，稳步提升设备产能；
- 10000片/小时——210硅片（10道）。
- 13000片/小时——182硅片（12道）。
主要参数
项目 | 技术指标 |
|---|---|
硅片尺寸(mm) | 182/210/230可选 |
Uptime | ≥98.5% |
碎片率 | ≤0.01% |
外形尺寸 | 5820(L)/ 8400(L) × 3160(W) × 2550(H) |
配液补液系统精度保证 | ≤± 1% |
产能 | 182≥13000pcs/H (12道) 210≥10000pcs/H (10道) |
带速 | 1~4.5m/min可调 |
功率消耗 | 35KW |
