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钙钛矿激光刻划设备(产线机型)
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钙钛矿激光刻划机(实验机型)
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钙钛矿激光清边设备(产线机型)
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钙钛矿激光清边设备(产线机型)
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全自动槽式RCA清洗设备
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全自动槽式碱抛清洗设备
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激光隔离和边缘钝化设备
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LPCVD镀膜机
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适用于半导体和光伏领域,针对于光伏领域TOPCon工艺电池;LPCVD设备可一站式完成隧穿氧化层/Poly层的制备,热氧和沉积Poly层两个工艺合二为一能够大幅提高产能;同时兼容i/d-Poly生长工艺。查看详情 -
低压硼扩散
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TOPCon已成为N型电池产品化推广的主流技术路线之一,硼扩散主要用于电池制造中正面制作PN结,属于关键制程之一。查看详情