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产品特点
- 炉体针对高温工艺(900~1100℃)有特殊设计，可有效防止炉体变形，延长炉体使用寿命;
- 快速降温炉体:最新专利技术使炉体温度快速降到所需温度，降温速率提升25%以上，明显提升炉管内温度均匀性;
- 先进的串级控温加智能降温技术，提高温度稳定性与控温精度，减少温度整定时间；
- 先进的全闭环压力控制系统，能对工艺腔室内的气压进行实时的精确检测与控制;
- 高效的尾气处理系统，干湿分离，自动排放，极大延长维护周期，降低维护成本，保证开机率和工艺稳定性；
- 创新的不着陆工艺方式，工艺过程中石英舟悬空，可有效减少石英管的受力与变形，减少石英器件之间的粘黏，延长使用寿命；
- 独特的炉门密封设计，实现金属与反应腔室的隔离，减少热量损失，大幅延长密封圈的使用寿命，保障压力的稳定性；
- 稳定的通源管路设计，减少因环境因素的扰动而造成的方阻波动；
- 架构完整，性能突出的MES/CCRM系统。
基本参数
| 项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 硅片尺寸（mm） | 182~230mm可选 |
| 工艺方式 | 闭管低压扩散 |
| 反应管有效内径 | Ø480mm |
| 装片量 | 2880片/批@182mm(槽间距2.72mm)；2200片/批@210mm(槽间距3.15mm) |
| 方阻及均匀性 | 片内≤5%片间≤5%批间≤3% （50~110ohm/sq） |
| 加热温度 | Rt→1250°C |
| 工作温度范围 | 600~1100°C |
| 温度控制 | 6点控温，内外双模控制 |
| 升温方式 | 自动斜率升温及快速恒温功能 |
| 降温方式 | 最新专利技术，6温区分段控制主动降温炉体 |
| 最大降温速率 | ≥7°C/min ( 1100~900°C) , 26°C/min ( 900~700*C ) |
| 恒温区精度及长度 | ≥0.5°C/2800mm(600~1100C) |
| 单点温度稳定度 | ≤+0.5°C/4h ( 880°C ) |
| 送舟方式 | 采用SiC悬臂桨自动水平送片，舟速20 ~ 1500mm/min连续可调；定位精度≤+1mm ; |
| 系统极限真空度 | 20mbar |
| 系统漏气率 | 停泵关阀后压力升率<1mbar/min |
| 压力控制方式 | 闭环全自动 |
| 工艺控制方式 | 全自动，PLC+工控机，触摸屏操作 |
| 人机交互界面 | LCD显示、触摸操作、工艺编辑、在线监控、权限管理、 班组管理、组网功能 |
| MES | 可选 |
